無塵室系統，製造符合規格之潔淨空氣，連續且穩定供給足夠之潔淨空氣於使用端，製造潔淨空氣之氣源為外氣（OUTSIDE AIR），經過無塵室系統各種處理單元裝置之處理後進而得到符合規格之潔淨空氣。以下簡單介紹其處理流程：外氣經由外氣空調箱（Make-up Air Unit或MAU）初步過濾微塵（particle）並控制其溫溼度後，經由回風管道間（Mech. Chase），將無塵室之循環風量與外氣空調箱之補充風量混合，經由冷卻盤管（Dry Cooling Coil）將回風管道間之回風降溫至無塵室要求之規格，透過循環風扇（Fan Filter Unit或FFU）帶動無塵室的氣流循環帶走微塵及熱量，最後經過超高效能過濾網（Ultra-low penetration air或ULPA Filter）過濾後，供應至Fab區。